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液氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體;可用作系統清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體;在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬可用作色譜載氣,也可用作大規模集成電路中混合氣體的稀釋氣。氬被廣泛用于充填弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護氣;在鈦、鈷及其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣;在黑色冶金中,氬氣用于吹煉特種鋼,以提高鋼的質量,特別是不銹鋼制造中消耗大量氬氣。


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